ООО «Маппер»

Производство МЭМС-элементов электронно-оптических систем литографических машин

Действующий завод

Акционеры портфельной компании 
АО «РОСНАНО», ООО «РНИ»

Технологическое направление 
Наноэлектроника и фотоника

Место размещения производства 
Технополис «Москва» (ТИР «Москвич»), Москва
Количество рабочих мест: 53 человека

Год начала инвестирования:  2013

Общий бюджет проекта
20  млн евро
Доля РОСНАНО
20  млн евро

Контрактный производитель элементов микроэлектромеханические систем (МЭМС) широкого профиля (MEMS-foundry)

ООО «Маппер» создано в 2012 году в рамках реализации проекта РОСНАНО с голландской компанией Mapper Lithography для производства МЭМС-элементов электронно-оптических систем литографических машин.

В 2014 году ООО «Маппер» с привлечением профильных специалистов голландского Mapper Lithography и ведущих профильных подрядчиков и проектировщиков построено и введено в эксплуатацию производство по МЭМС-технологии на площадке ОЭЗ «Технополис Москва». В результате за следующие четыре года успешно разработаны базовые технологии, оптимизированы технологические процессы и освоен серийный выпуск всех МЭМС-элементов систем электронной оптики по заказу Mapper Lithography — более 30 отдельных продуктов их модификаций.

Согласно международной отраслевой терминологии, ООО «Маппер» представляет собой МЭМС-фаундри (от англ. foundry — завод), то есть контрактного производителя МЭМС-изделий. При этом ООО «Маппер» самостоятельно разрабатывает технологии производства этих изделий на основе имеющихся в распоряжении базовых технологических процессов. На площадке ООО «Маппер» создана автоматизированная производственная линия для пластин 100 мм (с возможность расширения до 150 мм и 200 мм) и вспомогательная инфраструктура для серийной реализации МЭМС-технологии, позволяющая оказывать услуги по контрактному производству широкого спектра инновационных элементов для различных заказчиков в России и за рубежом.

Предприятие включает чистые технологические помещения (класс чистоты ISO6), оснащенные оборудованием, используемым при производстве МЭМС на кремниевых пластинах. В феврале 2019 года получен международный сертификат системы менеджмента качества на основе ГОСТ Р ИСО 9001:2015 от компании TÜV Rheinland.

Ключевые сотрудники имеют опыт работы за рубежом, производственные специалисты прошли обучение на площадке в Голландии. По мнению ряда российских отраслевых партнеров, МЭМС-производство ООО «Маппер» соответствует уровню лучших европейских фабрик.

ООО «Маппер» выпускает опытные образцы продукции и серийные партии для более чем 10 клиентов на российском рынке. Предприятие расширяет работу с заказчиками в России — в числе потенциальных клиентов около 15 компаний.

Конкурентные преимущества

Уникальная МЭМС-площадка в РФ, способная работать режиме серийного производства.

МЭМС-производство ООО «Маппер» предоставляет российским партнерам производственные услуги на уровне лучших европейских фабрик, по ценам, соответствующим европейскому уровню. Также ООО «Маппер» осуществляет разработку технологических процессов для постановки на производство продукции своих заказчиков, начиная с малых серий.

Сфера применения

МЭМС-элементы используются, в первую очередь, в качестве различного рода сенсоров или электромеханических преобразователей.

ООО «Маппер» ведет выпуск и разработку технологических процессов МЭМС для следующих основных применений:

  • чувствительные элементы гироскопов и акселерометров для инерциальных систем навигации;
  • матричные элементы неохлаждаемых ИК-сенсоров для тепловизионного оборудования систем контроля температуры человека и комплексных систем безопасности с применением тепловизоров;
  • радиочастотные ПАВ-фильтры для систем радиосвязи нового поколения и спутниковой навигации;
  • микрозеркала лидаров для беспилотного автотранспорта;
  • зонды (кантилеверы) атомно-силовых микроскопов.

Основные потребители

  • Производители инерциальных систем навигации: АО «Инерциальные технологии «Технокомплекса» (Раменское), АО «Гирооптика» (Санкт-Петербург), ООО «Ай­сенс» (Москва).
  • Ведущий производитель тепловизионного оборудования ОКБ АСТРОН (Лыткарино).
  • Ведущий разработчик и производитель полосных ВЧ-фильтров ООО «БУТИС» Научно-производственное предприятие (Москва).

МЭМС (микроэлектромеханические системы) — это интегрированные системы механических или электромеханических устройств и структур, получаемых с использованием процессов микро-производств.

МЭМС-устройство включает в себя 3D-структуры, которые могут чувствовать и манипулировать различными физическими или химическими свойствами. Как типичная мехатронная система МЭМС-устройство включает в себя микро-сенсор, реагирующий на некоторое отдельное изменяемое свойство внешней среды и преобразующее это изменяемое свойство в электрический сигнал, который далее обрабатывается микроэлектроникой, контролирующей, в свою очередь, функционирование микро-актуатора, отвечающего за необходимую корректировку внешней среды.

Технологическая линия располагается чистой комнате 1500 м2 (класс ISO 6) и включает все основные операции необходимые для производства широкого спектра МЭМС:

  • Участок литографии,
  • Участок травления,
  • Участок нанесения покрытий,
  • Участок жидкостной обработки,
  • Метрологическое оборудование.

Диаметр пластин 100 мм (с возможностью конверсии на 150–200 мм пластины).

Все оборудование приспособлено для работы в автоматизированном режиме.