Инженеры ведущих профильных организаций смогли оценить возможности применения фотолитографа в условиях реального литографического участка.
Мероприятие состоялось в рамках научно-технического семинара «Актуальные технологии и оборудование для литографии и обработки фоторезистов». Ключевой особенностью новой установки стало новейшее решение в источнике излучения.
Научно-технический семинар «Актуальные технологии и оборудование для литографии и обработки фоторезистов»
Компания Hyper
«Отечественная установка существенно отличается от зарубежных аналогов: впервые в качестве излучения использована не ртутная лампа, а твердотельный лазер — мощный и энергоэффективный, с высокой долговечностью и более узким спектром. Это важный шаг в формировании новых компетенций в области отечественной микроэлектроники».
АО «ЗНТЦ»
В ЗНТЦ подчеркивают стратегическое значение проекта. Фотолитограф предназначен для производства кристаллов аналоговых микросхем, включая сенсоры, фотонные интегральные схемы и компоненты для датчиков. Это технологическое решение призвано снизить зависимость российской микроэлектроники от импорта и обеспечить технологический суверенитет страны.
Разработка велась АО «ЗНТЦ» в кооперации с белорусским предприятием ОАО «Планар» в рамках программы Союзного государства при поддержке Минпромторга РФ. Представленная установка ляжет в основу для целого семейства полностью локализованных литографов с нормами 130 и 90 нанометров.
В рамках деловой программы семинара эксперты также представили доклады о перспективных отечественных литографах на 350 и 130 нм, а партнеры мероприятия осветили другие передовые методы литографии и сопутствующие технологические процессы.
Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) — одна из ведущих инновационных компаний, осуществляющая исследования и разработки в области нано- и микросистемной техники. Входит в инвестиционную сеть Фонда инфраструктурных и образовательных программ Группы РОСНАНО. ЗНТЦ осуществляет разработку и производство датчиков и сенсоров физических величин, интегральной оптики и фотонной компонентной базы для построения интеллектуальных систем управления. Поддерживает более 30 стартапов в различных отраслях промышленности, в том числе, в робототехнике, промышленной автоматике, энергетике и медицине.
Подробнее о нанцентре — zntc.ru
