ООО «РУ-ВЭМ»

Автоматизированные вакуумные установки для ионно-плазменного нанесения и травления микро- и наноструктур

Акционеры портфельной компании 
АО «РОСНАНО»

Технологическое направление 
Покрытия и модификация поверхности

Место размещения производства 
Зеленоград, АО Москва
40 рабочих мест

Год начала инвестирования:  2011

Общий бюджет проекта
1,18  млрд рублей
Доля РОСНАНО
335,5  млн рублей

РУ-ВЭМ — российский разработчик и производитель на рынке вакуумной техники и технологии

Компания осуществляет полный цикл работ (проектирование, производство, сервис) по изготовлению вакуумных технологических установок магнетронного напыления, плазмохимического травления, ионного осаждения. Компания выпускает как серийное вакуумное оборудование, так и выполняет заказы на оборудование по ТЗ заказчика.

Также, РУ-ВЭМ оказывает услуги отработки технологий, фотолитографии, магнетронного напыления и плазмохимического травления в собственном технологическом центре.
 

Компания разработала и производит следующие серии оборудования

  • IRIDA — установки серии Irida построены на унифицированной платформе. Могут использоваться как единичные машины, так и в составе кластерного комплекса для обработки подложек до 200 мм.
  • SOLVAC — конфигурация установки позволяет наносить слои различного назначения на объемные и крупногабаритные изделия, а также обрабатывать большие партии изделий за один процесс.
  • CAROLINE — данная серия вакуумного оборудования включает в себя 11 типов установок для напыления, травления и осаждения различных материалов.
  • ANTARES — оборудование, разрабатываемое по специальному техническому заданию заказчика. К этой категории относятся как совершенно новые проекты, так и глубокие модернизации оборудования заказчика.

Конкурентные преимущества

  • Конкурентная цена при характеристиках продукции на уровне лучших мировых аналогов
  • Адаптированное программное обеспечение
  • Налаженная система сервиса (в том числе возможность оказания сервиса онлайн)
  • Возможность реализовывать комплексные решения по поставке оборудования
  • Автоматизированная система организации производства

Сфера применения

  • Электроника, авионика и МЭМС
  • Машиностроение и инструментальная промышленность
  • Медицина
  • Оптика

Основные потребители

  • Предприятия по производству микроэлектроники и приборостроения

Ключевая технология проекта — нанесение наноструктурированных покрытий на металлорежущий инструмент — разработана учеными РНЦ «Курчатовский институт». Такое покрытие увеличивает износостойкость инструмента в 2–2,5 раза, благодаря чему затраты предприятий снижаются.

Семейство унифицированных автоматизированных вакуумных установок, а также кластерная вакуумная установка для формирования микро- и наноструктур, выпускаемые в рамках проекта, широко используются в производстве полупроводниковых и силовых приборов, приборов МЭМС, кварцевых резонаторов, полупроводниковых лазеров и светодиодов на арсениде и нитриде галлия, фосфиде индия и т. д. Данные установки реализованы на единой технологической платформе, каждая установка снабжена встроенным модемом, который позволяет осуществлять настройку онлайн и передавать данные о неисправности в службу поддержки.

Помимо вакуумных установок, компанией также производится линейка оборудования, предназначенного для напыления различных модифицирующих покрытий, в том числе антикоррозийных, износостойких, упрочняющих и тому подобное.

Кроме того, в рамках реализации проекта планируется создан сервисный центр, задачей которого является модернизация старого и разработка нового вакуумного оборудования, а также разработка и нанесение покрытий для конечных потребителей.